荷蘭BORNKHORST流量控制器IQ+FLOW在半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用案例

提供質(zhì)量流量和壓力測(cè)量和控制
各設(shè)備生產(chǎn)商們一直在尋找一種更緊湊的氣體流量和壓力測(cè)量及控制的方案。在先前，傳統(tǒng)的質(zhì)量流量和壓力計(jì)都需要至少1.5″空間，比如具體到在 NeSSI? 系統(tǒng)中。如今，Bronkhorst通過(guò)與TNO-TPD（荷蘭應(yīng)用物理研究所）的緊密合作，開發(fā)出了一系列高科技的IQ+FLOW® 質(zhì)量流量傳感器。由于采用了納米技術(shù)，使其能夠減少一半的體積，達(dá)到 0.75″, 從而滿足了市場(chǎng)上對(duì)超小型的緊湊流量和壓力控制器的需求。

客戶的具體設(shè)計(jì)
該 IQ+FLOW® 概念提供了如下功能模塊：

流量計(jì)；尤其適合流量范圍從10 mln/min 到 5 ln/min (滿刻度值）
壓力計(jì)；尤其適合于100psi任務(wù)下的壓力范圍
控制閥
三通閥
截止閥
過(guò)濾器
混合腔
根據(jù)客戶的要求，這些模塊可以被安裝在一根緊湊的底座上；更多的選擇包括可同時(shí)被運(yùn)用于氣體或者液體領(lǐng)域的模塊，該模塊通過(guò)一根鋁或者不銹鋼的底座與帶內(nèi)斜紋的進(jìn)/出端口連接。由于各種應(yīng)用都有成百上千種的解決方案，歡迎您與Bronkhorst聯(lián)系討論適合且恰當(dāng)?shù)慕鉀Q方案。

特點(diǎn)：
熱平衡芯片傳感器確保了零穩(wěn)定性
緊湊的組合確保了高的空間運(yùn)用效率
經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的解決方案
無(wú)縫管結(jié)構(gòu)降低了潛在泄漏點(diǎn)
頂部安裝模塊；方便使用
‘即插即用’的預(yù)測(cè)試，減少了自定義測(cè)試的需求
數(shù)字通訊式（RS232或者RS485)分析應(yīng)用
以超緊湊模塊為基礎(chǔ)的體積為0.75″的分析應(yīng)用實(shí)例：

GC注射側(cè)的流量-壓力控制
GC或者HPLC的探測(cè)側(cè)的流量控制
FID檢測(cè)器的流量控制

FLOW-SMS

很多客戶都在努力尋求種可以囊括各種功能的緊湊設(shè)計(jì)解決方案。通過(guò)與多家客戶的密切合作，Bronkhorst開發(fā)出了一系列的FLOW-SMS產(chǎn)品。在一個(gè)緊湊，輕巧但堅(jiān)固的軌道上安裝一個(gè)或者多個(gè)與控制閥、切斷閥、混合腔過(guò)濾器或者任何其它根據(jù)客戶要求的功能模塊相連接的質(zhì)量流量或者壓力傳感器模塊。具體的規(guī)格可根據(jù)客戶要求而定。流量傳感器的范圍可以在大約5 mln/min 到 50 ln/min 中選擇，或者甚至可以更高。在需要壓力傳感器的應(yīng)用中，壓力范圍可以在0-100 mbar 到 0-10 bar （絕壓或者表壓）之間選擇。根據(jù)具體的要求，系統(tǒng)可以在一個(gè)無(wú)塵室中組裝，測(cè)試和包裝起來(lái)。由于成百上千種的解決方案的存在，我們專業(yè)人士建議您與我們的經(jīng)銷商取得聯(lián)系，來(lái)探討適合您的解決方案。
特點(diǎn)
緊湊的組合確保了其高空間效率
經(jīng)濟(jì)實(shí)惠
無(wú)管道結(jié)構(gòu)降低了潛在的泄漏點(diǎn)
底部連接；方便上下安裝
‘即插即用的’ 預(yù)先檢測(cè)，減少了用戶端的檢測(cè)
模擬或數(shù)字通訊(RS232, DeviceNet?,
PROFIBUS®, Modbus, EtherCAT®, FLOW-BUS)
應(yīng)用領(lǐng)域
該FLOW-SMS 系列在各種應(yīng)用領(lǐng)域都有著潛在的市場(chǎng)，比如：

半導(dǎo)體和電子工業(yè)
工業(yè)加工
醫(yī)療和制藥系統(tǒng)
分析應(yīng)用
生物技術(shù)和化學(xué)裝置
食品和飲料加工

MANI-FLOW
MANI-FLOW 系列產(chǎn)品源于幾個(gè)OEM機(jī)械制造商對(duì)于在多功能集成緊湊型設(shè)備的經(jīng)濟(jì)解決方案的需求而設(shè)計(jì)出來(lái)的。自從1996年以來(lái)，公司設(shè)計(jì)并生產(chǎn)出了無(wú)數(shù)的先進(jìn)控制系統(tǒng)。在一個(gè)緊湊的底座面板內(nèi)，一個(gè)質(zhì)量流量或壓力感應(yīng)器模塊可以與控制閥、兩項(xiàng)或者三項(xiàng)閥、截止閥、過(guò)濾器或者其它根據(jù)客戶需求而設(shè)計(jì)出的功能模塊組合起來(lái)。具體的規(guī)格可根據(jù)客戶的具體的要求而定；由于應(yīng)用的不同，客戶可根據(jù)具體的規(guī)格來(lái)選擇一個(gè)鋁制或不銹鋼的底座以及帶內(nèi)螺紋的連接器。根據(jù)要求，系統(tǒng)可以在一個(gè)無(wú)塵室里組合、測(cè)試并包裝起來(lái)。由于解決方案有成百上千種，因此，我們專業(yè)人士建議您與您所在地的經(jīng)銷商取得聯(lián)系，并詳細(xì)討論您的解決方案。

應(yīng)用領(lǐng)域
MANI-FLOW系列產(chǎn)品在各個(gè)市場(chǎng)領(lǐng)域都擁有潛在的應(yīng)用市場(chǎng)，比如:

過(guò)程工業(yè)
醫(yī)療和制藥系統(tǒng)
分析應(yīng)用
生物技術(shù)和化學(xué)裝置
食品和飲料加工
半導(dǎo)體和電子工業(yè)
優(yōu)點(diǎn)
結(jié)構(gòu)緊湊，有效節(jié)省空間
經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，為用戶節(jié)約了成本
在一個(gè)底座（如：無(wú)管道結(jié)構(gòu)）上組合功能，從而進(jìn)一步降低了潛在的泄漏風(fēng)險(xiǎn)
模塊化結(jié)構(gòu)，方便安裝及更換
‘即插即用’ 的預(yù)測(cè)元件，減少了客戶端檢測(cè)
可供模塊
質(zhì)量流量計(jì)
流量在0.1 … 5 mln/min 以及 1 … 50 ln/min N2當(dāng)量；更高流量要求，可根據(jù)客戶需求定做。

壓力傳感器
供壓阻式壓力傳感器的壓力范圍在2 … 100 mbar 和0.2 … 10 bar 之間（絕壓或者相對(duì)壓力）。

過(guò)濾器
燒結(jié)式不銹鋼過(guò)濾器 0.5, 2, 7 或15 μm。

控制閥
常關(guān)或開，供 Kv max. 1.0的流量或者壓力控制。高溫 50°C。

電磁閥
常開或者常關(guān)的截止閥；三通閥

半導(dǎo)體和LED照明產(chǎn)業(yè)
超臨界氣體測(cè)量與控制，當(dāng)流體例如二氧化碳(CO2)在氣液兩相臨界區(qū)域處，難以測(cè)量它們的流量。例如，CO2的超臨界點(diǎn)達(dá)到73.8 bara和31.1 °C。除此之外，由于壓力或溫度變化，諸如密度(ρ)和熱容量(Cp)的物理性質(zhì)變化非?？臁＿@使得基于熱原理的精確質(zhì)量流量測(cè)量非常困難。
應(yīng)用要求
mini CORI-FLOW質(zhì)量流量計(jì)測(cè)量質(zhì)量流量，不受流體特性影響，成為一種解決方案。無(wú)論流體處于氣相、液相還是其間某個(gè)位置，都可以測(cè)量分子的實(shí)際質(zhì)量流量。該領(lǐng)域的應(yīng)用證明，這種測(cè)量原理非常準(zhǔn)確可靠。對(duì)于控制應(yīng)用，Bronkhorst可以提供流量計(jì)和金屬密封的壓力控制閥
相關(guān)產(chǎn)品型號(hào)及介紹
MASS-STREAM
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

直通型測(cè)量
數(shù)字MASS-STREAM? D-6300系列遵循恒溫風(fēng)速計(jì)原理，基于直通式測(cè)量方式。
小流量：0.01…0.2 ln/min
大流量：200…10000 ln/min
儀表標(biāo)配IP65防護(hù)外殼，通過(guò)主板操作所有功能，以進(jìn)行精確的流量測(cè)量和控制。數(shù)字或模擬輸入/輸出信號(hào)可選。除標(biāo)準(zhǔn)RS232， 還可選PROFIBUS DP, DeviceNet, FLOW-BUS 和 Modbus-RTU。
該儀表的一大特色及創(chuàng)新改進(jìn)是可選的集成式、現(xiàn)代化、多功能的多色顯示屏，自帶操作按鈕，符合IP65標(biāo)準(zhǔn)。MASS-STREAM? D-6300系列集多種功能于一身，例如實(shí)際流量值顯示、累計(jì)和報(bào)警，具有的性價(jià)比。儀表適用于實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)設(shè)備以及工業(yè)裝置。
質(zhì)量流量計(jì)
滿量程/壓力等級(jí)

PN 20 bar
D-6310  |  0.01 … 2 ln/min
D-6320  |  0.05 … 7 ln/min
D-6340  |  0.14 … 50 ln/min
D-6360  |  0.4 … 200 ln/min
D-6370  |  2 … 1000 ln/min
D-6380  |  10 … 5000 ln/min
D-6390  |  40 … 10000 ln/min
質(zhì)量流量控制器
滿量程/壓力等級(jí)

PN 7 bar (Kv-max) PN 10 bar (Kv-max) PN 16 bar (Kv-max) PN 20 bar (Kv-max)
D-6311  |  0.01 … 2 ln/min
D-6321  |  0.05 … 7 ln/min
D-6341  |  0.14 … 50 ln/min
D-6361/FAS  |  0.4 … 200 ln/min (0.17) D-6361/002BI  |  0.4 … 200 ln/min (0.35)
D-6363/002AI  |  0.,4 … 200 ln/min (0.4)
D-6363/004BI  |  0.4 … 200 ln/min (1.0)
D-6363/003AI  |  0.4 … 200 ln/min (1.5)
D-6371/004BI  |  2 … 1000 ln/min (1.0) D-6371/002BI  |  2 … 400 ln/min (0.35)
D-6373/BJ-1-2  |  2 … 1000 ln /min
(1.1 / 3.4) D-6373/002AI  |  2 … 1000 ln/min (0.4)
D-6373/BJ-1  |  2 … 1000 ln /min
(2.8 / 4.4) D-6373/003AI  |  2 … 1000 ln/min (1.5)
D-6371/003AI  |  2 … 1000 ln/min (1.5)
D-6383/BJ-1-2  |  10 … 5000 ln /min
(1.1 / 3.4) D-6383/003AI  |  10 … 5000 ln/min (1.5)
D-6383/BJ-1  |  10 … 5000 ln /min
(2.8 / 4.4) D-6381/003AI  |  10 … 5000 ln/min (1.5)
D-6383/003BI  |  10 … 5000 ln/min (6.0)
D-6381/003BI  |  10 … 5000 ln/min (6.8)
D-6391/003BI  |  40 … 20000 ln/min (8.2)
mini CORI-FLOW
隨著對(duì)mini CORI-FLOW?質(zhì)量流量計(jì)系列的開發(fā)，Bronkhorst突破科里奧利質(zhì)量測(cè)量方法的技術(shù)限制，成功開發(fā)為精密測(cè)量和控制小流量的緊湊且經(jīng)濟(jì)效應(yīng)高的科里奧利流量計(jì)/控制器。獨(dú)特設(shè)計(jì)的微型傳感器使其具的性能，即使在壓力、溫度、密度、電導(dǎo)率和黏度運(yùn)行條件改變的情況下，其測(cè)量質(zhì)量也不會(huì)受到任何影響。與目前在市場(chǎng)上的其它科里奧利測(cè)量?jī)x表相比，該款mini CORI-FLOW?質(zhì)量?jī)x表?yè)碛袃?nèi)置PID控制和可選的緊密耦合控制閥或控制泵。從而使其結(jié)構(gòu)緊湊，同時(shí)為測(cè)量液體或者氣體，減少了成本以及空間的使用。

小流量范圍：0.05…..5 g/h
大流量范圍：3….300 kg/h
數(shù)字技術(shù)
mini CORI-FLOW? 流量計(jì)以先進(jìn)的數(shù)字技術(shù)為特點(diǎn)，并擁有總線接口選項(xiàng)以及其它特殊的功能，比如系統(tǒng)總體化和自動(dòng)報(bào)警功能。 使用者可以根據(jù)自己的需求，使用RS232或者總線接口以及一系列配套軟件工具來(lái)簡(jiǎn)單的調(diào)控該設(shè)備。

熱式質(zhì)量流量控制器的替代選擇
設(shè)計(jì)該款mini CORI-FLOW?質(zhì)量流量計(jì)的目的是為了能很簡(jiǎn)單的取代傳統(tǒng)的熱質(zhì)量流量控制器。該款小的質(zhì)量流量控制器有著與迷你質(zhì)量流量?jī)x表的設(shè)計(jì)風(fēng)格，并且通過(guò)模擬通訊或者總線通訊電子化了該產(chǎn)品。與傳統(tǒng)的熱質(zhì)量流量控制儀器比，科里奧利原理下的流量控制器更加準(zhǔn)確迅速，并且其質(zhì)量流量更加具有獨(dú)立性，質(zhì)量流量的結(jié)果與其流量的物理性質(zhì)無(wú)關(guān)。

 

特性
流體性質(zhì)不影響其質(zhì)量結(jié)果，可以直接測(cè)量質(zhì)量流量。
 精度高，重復(fù)性能強(qiáng)
節(jié)能型設(shè)計(jì)
緊湊型設(shè)計(jì)，外加內(nèi)置的PID控制器，使其能快速，平穩(wěn)的控制
可以用來(lái)測(cè)量超小的流量范圍
更多資料
Documents
MINI CORI-FLOW M15 brochure Download
MINI CORI-FLOW Manual Download
MINI CORI-FLOW Quick Installation Guide Download

mini CORI-FLOW? 液體配料系統(tǒng)
不受流體物性影響
高精度、快速響應(yīng)

MINI CORI-FLOW? M12
小流量 0.1…5 g/h
大流量 2…200 g/h
壓力等級(jí) 200 bar
不受流體物性影響
高精度、快速響應(yīng)

MINI CORI-FLOW? M13
小流量 1…50 g/h
大流量 20…2000 g/h
壓力等級(jí) 200 bar
不受流體物性影響
高精度、快速響應(yīng)

MINI CORI-FLOW? M15
小流量 0.2…5 kg/h
大流量 3…300 kg/h
壓力等級(jí) 100 bar
不受流體物性影響
高精度、快速響應(yīng)

MINI CORI-FLOW? ML120V00
小流量0.05…5 g/h
大流量2…200 g/h
壓力等級(jí) 200 bar
不受流體物性影響
高精度、快速響應(yīng)

MINI CORI-FLOW? ML120V21
小流量0.05…5 g/h
大流量2…200 g/h
壓力等級(jí) 5 bar
不受流體物性影響
高精度、快速響應(yīng)