日本科賦樂KOFLOC3660質(zhì)量流量控制器的概述：科賦樂KOFLOC3660質(zhì)量流量控制器科賦樂KOFLOC3660質(zhì)量流量控制器適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下，±15VDC供電性能穩(wěn)定，05V模擬信號(hào)更加通用

3660系列設(shè)計(jì)精密，成本較低。用于各個(gè)不同的領(lǐng)域從實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā)項(xiàng)目到各種儀器設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)采用機(jī)種發(fā)揮了很好的實(shí)際效果，另外還有有各種衍生功能可選

日本科賦樂KOFLOC3660質(zhì)量流量控制器的性能參數(shù)

日本KOFLOC 3660系列質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)精密，成本較低。用于不同的領(lǐng)域，從實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā)項(xiàng)目到各種分析儀器、真空裝置的標(biāo)準(zhǔn)采用機(jī)種，發(fā)揮了很好的實(shí)際效果。各種衍生的型號(hào)和附屬品可選。

產(chǎn)品特色：

通過采用改良型恒定電流溫度差檢測(cè)方式流量傳感器，實(shí)現(xiàn)快速回應(yīng)。

通用的常閉型閥門確保了安全

使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性

低差壓類型控制適用于燃燒的氣體（LP可選）

另有針對(duì)PM2.5設(shè)備特制品：流量16.7L/MIN，低壓差15Kpa既可，特價(jià)供應(yīng)，高性價(jià)比

技術(shù)參數(shù)：

流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLPM(3660系列)

30SLPM-100SLPM(3665系列)

氣體種類：所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)

傳感器類型：熱式傳感器

閥門類型：電磁比例閥，常閉

控制范圍：2%-100%(3660系列)

5%-100%(3665系列)

控制速度：2%-100%,2秒以內(nèi)

控制精度：±1.0%FS(3660系列)

±1.5%FS(3665系列)

重復(fù)性：±0.5%FS

工作差壓：滿量程FS≤5升/分鐘，49-294Kpa

5升/分鐘≤滿量程FS≤100升/分鐘，98-294Kpa

低差壓特制：2-149Kpa，根據(jù)具體流量來定制

高差壓特制：294-784Kpa，根據(jù)具體流量來定制

使用溫度：0-50℃

允許濕度：0-90%

泄漏率：大為1x10-8Pa.m3 /sec（不包含He）

產(chǎn)品材質(zhì)：主體-SUS316

密封圈：Viton

可另選：氯丁橡膠，丁腈橡膠NBR

管路接頭：1/4英寸卡套(3660系列)

3/8英寸卡套(3665系列)

可另選：1/8英寸卡套、1/4英寸VCR、RC1/4英寸、特殊要求可定制

電氣接頭：D型9針

輸入信號(hào)：0-5V(模擬信號(hào))

輸出信號(hào)：0-5V(模擬信號(hào))

供應(yīng)電源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA

產(chǎn)品重量：800g(3660系列)、1000G(3665系列.

電氣D型9針連線示意圖：

1號(hào)針：閥門開關(guān)信號(hào)(可不接)

2號(hào)針：輸出信號(hào)0-5V

3號(hào)針：電源+15VDC

4號(hào)針：電源COM

5號(hào)針：電源-15VDC(

6號(hào)針：輸入信號(hào)0-5V

7號(hào)針：輸出信號(hào)COM

8號(hào)針：輸入信號(hào)COM

9號(hào)針：閥門電壓輸出日本科賦樂KOFLOC質(zhì)量流量控制器使用注意：

一：進(jìn)氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進(jìn)水)、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。

二：用肥皂水對(duì)管路進(jìn)行泄漏檢測(cè)時(shí)，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。

三：安裝前，請(qǐng)將設(shè)備管路進(jìn)行整體吹掃。

四：耐壓1.0Mpa，進(jìn)口大壓力3公斤。

五：需要進(jìn)行零點(diǎn)漂移清零的時(shí)候，確認(rèn)進(jìn)/出口沒流量沒壓力下 再操作。

日本KOFLOCDF550C系列氣體質(zhì)量流量控制器 質(zhì)量流量計(jì)

簡(jiǎn)要描述：

日本KOFLOCDF550C系列質(zhì)量流量控制器金屬密封數(shù)字式

DF550C是基于DF200C基礎(chǔ)上的金屬密封產(chǎn)品，它除開擁有DF200

的高精度、高速度性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常適用于

高真空、強(qiáng)腐蝕、劇毒氣體等等在對(duì)泄漏率有高要求場(chǎng)合DF550C系列

日本KOFLOCDF550C系列氣體質(zhì)量流量控制器金屬密封數(shù)字式

高真空、強(qiáng)腐蝕、劇毒氣體等等在對(duì)泄漏率有高要求場(chǎng)合

泄漏率：1*1011pa·m3/s以下

金屬密封，適用于對(duì)泄漏率有高要求場(chǎng)合

性能參數(shù)

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器/計(jì)無焊接結(jié)構(gòu)，金屬密封，精確度≤±1%，反應(yīng)時(shí)間≤±1/秒，基本性能適用于半導(dǎo)體過程控制，實(shí)現(xiàn)了劃時(shí)代的低成本。型號(hào)5410系列同樣主體的設(shè)計(jì)價(jià)格也十分合理。適用于高真空設(shè)備、半導(dǎo)體潔凈室、高純氣體輸送等對(duì)泄漏率有很高要求的場(chǎng)合。

通過安裝溫度流量傳感器得到高精確的快速回應(yīng)

通用的常閉型閥門

無焊接構(gòu)造，金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s

采用膈膜閥減少了死區(qū)

間距，主體尺寸和連接的設(shè)計(jì)可以和其它生產(chǎn)商的控制器兼容

流量FS(N2換算)：10SCCM-20SLM

氣體種類：所有氣體(腐蝕性、有毒、特殊氣體都可)，高純氣體

控制范圍：2%-100%

控制速度：2%-100%,1秒以內(nèi)

另可選：QS快啟動(dòng)，反映時(shí)間更快

控制精度：±1.0%FS以內(nèi)

線性：

±0.5%FS以內(nèi)

重復(fù)性：

±0.2%FS以內(nèi)

產(chǎn)品耐壓：980Kpa

泄漏率：大為1x10-11Pa.m3 /sec以內(nèi)

允許濕度：10-90%

產(chǎn)品材質(zhì)：主體-SUS316L

密封圈：SUS316L

管路接頭：1/4英寸VCR

產(chǎn)品重量：1000g

6號(hào)針：輸入信號(hào)(高)

8號(hào)針：輸入信號(hào)(低)

9號(hào)針：閥門工作電壓反饋(可不接)

日本KOFLOC8500MM質(zhì)量流量計(jì)配備了LED顯示表頭、RS232/485通訊、多種報(bào)警輸出信號(hào)使用產(chǎn)品上市以來受到各個(gè)行業(yè)的客戶青睞，尤其是高校/研究院等單位方便、快捷、直觀是8500MM帶客戶的重要體驗(yàn)日本KOFLOC8500MM質(zhì)量流量計(jì)的性能參數(shù)：

日本KOFLOC DF250C系列質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)精密，精度高，速度快成本較低。用于不同的領(lǐng)域，從實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā)項(xiàng)目到各種分析儀器、真空裝置、半導(dǎo)體設(shè)備、環(huán)境環(huán)保儀器、燃燒焊接、新能源設(shè)備、生物醫(yī)療 等等的標(biāo)準(zhǔn)采用機(jī)種，發(fā)揮了很好的實(shí)際效果。

通過采用熱式原理的全新芯片流量傳感器，實(shí)現(xiàn)快速回應(yīng)。

標(biāo)配RS485通訊，數(shù)字信號(hào)保證了控制的精確性，不受外界干擾

流量FS(N2換算)：10SCCM-300SLPM

氣體種類：所有氣體

傳感器類型：熱式芯片傳感器

控制速度：1秒以內(nèi)(0-50SLM)、1.5秒以內(nèi)(100-150SLM)、2秒以內(nèi)(200-300SLM)

控制精度：±1.0%FS(0-150SLM)、±2.0%FS(150-300SLM)、

重復(fù)性：±0.25%FS

工作差壓：50-350Kpa

可另選：PTFE、氯丁橡膠，丁腈橡膠NBR

管路接頭：1/4、1/2、3/4英寸卡套

可另選：VCR、RC螺紋可選

電氣接頭：DB型9針

數(shù)字接口：RS485，MODBUS-RTU 或 ASCII協(xié)議 (以太網(wǎng)接口2個(gè)，多串聯(lián)99臺(tái))

供應(yīng)電源：1：+15VDC(±5%)100mA，-15VDC(±5%)200mA

2：+24VDC(±10%)300mA大

熱式質(zhì)量流量控制器是一種常用于氣體流量控制的設(shè)備，它通過測(cè)量氣體的熱量傳導(dǎo)能力來實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體流量的精確控制。利用了熱量傳導(dǎo)定律，即在給定的空間內(nèi)，當(dāng)流過相同截面積的兩側(cè)的氣體溫度差固定時(shí)，其熱量傳導(dǎo)速率與流量成正比。

KOFLOC 科賦樂 質(zhì)量流量控制器

3665-3/8SW

搭載恒流溫差檢測(cè)式流量傳感器的高速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器。

采用常閉閥門，操作方向安全。

規(guī)格

閥門類型 比例電磁閥（斷電時(shí)關(guān)閉）

傳感器類型 熱線繞傳感器

再現(xiàn)性±0.5%滿量程

耐壓（kPa）980(G)

泄漏率（Pa?m 3 /秒）1×10-8以下（不包括He透射）

熱式質(zhì)量流量控制器通過以下步驟實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體流量的測(cè)量和控制：

1.提供恒定的加熱功率：控制器內(nèi)部配備了一個(gè)或多個(gè)加熱絲，通過電流加熱絲，使其保持恒定的溫度。

2.測(cè)量溫度差：在加熱絲的上游和下游位置設(shè)置溫度傳感器，分別測(cè)量?jī)商幍臏囟?。由于氣體流經(jīng)加熱絲時(shí)會(huì)帶走部分熱量，因此上游和下游位置的溫度存在差異。

3.計(jì)算流量：根據(jù)測(cè)得的溫度差、加熱功率以及氣體的熱導(dǎo)率等參數(shù)，計(jì)算出流經(jīng)流量控制器的氣體流量。

4.反饋控制：將計(jì)算得到的流量與設(shè)定值進(jìn)行比較，通過調(diào)節(jié)控制閥門的開度，使得實(shí)際流量接近設(shè)定值。

主要組成部分構(gòu)成：

1.流量傳感器：包括加熱絲和溫度傳感器。加熱絲通常由細(xì)絲或薄膜形成，具有較高的電阻率和快速響應(yīng)特性；溫度傳感器可采用熱電阻或熱敏電阻等。

2.控制閥門：用于調(diào)節(jié)氣體流量，通常采用電磁閥控制閥門的開度。

3.控制電路：包括測(cè)量電路、計(jì)算電路和反饋控制電路等，用于實(shí)時(shí)采集和處理溫度、電流信號(hào)，并進(jìn)行流量計(jì)算和控制。

熱式質(zhì)量流量控制器的工作過程如下：

1. 初始化：在啟動(dòng)前，先對(duì)質(zhì)量流量控制器進(jìn)行初始化，包括校準(zhǔn)和零點(diǎn)調(diào)整等。

2. 
   

2.測(cè)量和計(jì)算：?jiǎn)?dòng)后，加熱絲開始工作，通過測(cè)量上游和下游位置的溫度，計(jì)算出實(shí)際流量值。

3.控制閥調(diào)節(jié)：將實(shí)際流量值與設(shè)定值進(jìn)行比較，根據(jù)差異調(diào)節(jié)電磁閥門的開度，使實(shí)際流量逐漸接近設(shè)定值。

4.反饋控制：通過不斷的測(cè)量和調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)精確的流量控制。同時(shí)，控制電路會(huì)監(jiān)測(cè)控制閥門的工作狀態(tài)和溫度變化等，以保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。

適用于以下場(chǎng)景：

1.實(shí)驗(yàn)室研究：用于氣體進(jìn)樣、流量控制和調(diào)節(jié)等實(shí)驗(yàn)需求。

2.半導(dǎo)體制造：用于氣體送入、化學(xué)蝕刻、氣相沉積等過程的流量控制。

3.環(huán)境監(jiān)測(cè)：用于氣體排放、燃燒過程的流量控制和檢測(cè)。

4.化學(xué)工程：用于化學(xué)反應(yīng)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)等的流量控制和調(diào)節(jié)。

5.醫(yī)療器械：用于氣體輸送、呼吸機(jī)等醫(yī)療設(shè)備中的流量控制。

日本KFLOC DF550C系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，金屬密封,泄漏率1×10-11Pa?m3/s

標(biāo)配RS485，MODBUS-RTU協(xié)議 (以太網(wǎng)RJ-45網(wǎng)線接口2個(gè)，多串聯(lián)99臺(tái))，適用于高真空

設(shè)備、半導(dǎo)體行業(yè)、高純氣體/強(qiáng)腐蝕/有毒氣體 等對(duì)泄漏率有高要求的場(chǎng)合。

無焊接構(gòu)造，金屬密封確保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa?m3/s

間距，主體尺寸和連接的設(shè)計(jì)可以和其它生產(chǎn)商的控制器兼容00mA大

流量FS(N2換算)：10SCCM-10SLM

傳感器類型：新型熱式傳感器

產(chǎn)品重量：1100g